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中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997 

 指标\级别 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
电阻率 MΩ,cm(25℃)18以上,(95%时间)不低于1715,(95%时间)不低于13 12.0   0.5   
全硅,最大值,μg/L210501000
>1μm微粒数,最大值,个/mL0.1510500
 细菌个数,最大值,个/mL0.010.110100
 铜,最大值,μg/L0.212500
 锌,最大值,μg/L0.215500
 镍,最大值,μg/L0.112500
 钠,最大值,μg/L0.5251000
 钾,最大值,μg/L0.525500
 氯,最大值,μg/L11101000
 硝酸根,最大值,μg/L115500
 磷酸根,最大值,μg/L115500
 硫酸根,最大值,μg/L115500
 总有机酸,最大值,μg/L201002001000

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